一、温、湿度及尘埃浓度管理，若有设备移动或施工时须做局部测量。

二、过滤网之管理：定期检查及更换。

三、空气调节器管理，定期检查隔板接缝及内部污染状况。冷热盘管是否有腐蚀现象。

四、送风机之管理，定期检查送风机运转状况。

五、风管及出风口之管理，检查现管是否有腐蚀、污染、尘埃堆积或保温脱落等。

六、测试及量测仪器管理，定期校正及保养。

七、室内压力管理，连续监视室内压力记录，以维持正压为基准。

八、冷冻主机、泵浦、锅炉及冷却水塔之管理，定期检查保养及记录运转状况及水质变化分析，以调整加药量等。

九、十万级无尘车间停止运转再开机要点管理，启动后立即进行微尘粒子之测试，须无尘车间恢复稳定正常时再开始作业。