万级洁净室技术标准

压差：相同洁净度等级的洁净室压差保持一致，对于不同洁净等级的相邻洁净室之间压差要≥5Pa，洁净室与非洁净室之间要≥10Pa。

万级洁净室对温度、湿度无特殊要求时，以穿着洁净工作服不产生舒服感为宜，温度一般控制在冬季＞16℃；夏季＜26℃；波动±2℃。洁净室湿度控制在45－65％。

配电：洁净室（区）的主要生产用房一般照度值宜≥300Lx;辅助工作室、人员净化和物料净化用室、气闸室、走廊等的照度值宜为200~300Lx。

噪声控制

一、动态测试时，万级洁净室内的噪声级不应超过70分贝A。
     二、静态测试时，万级乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝A。

气流组织

万级洁净室主要采用的送风方式：1、局部孔板顶棚送风 ；2、带扩散板高效空气过滤器顶棚送风；3.上侧墙送风 等三种送风方式。

万级洁净室主要采用的回风方式：1、单侧墙下部布置回风口；2、当采用走廊回风时，在走廊内均匀布置回风口或在走廊端部集中设置回风口。

送风口风速米／秒）：1.孔板孔口3～5； 2、侧送风口：⑴贴附射流2～5  ；⑵非贴附射流同侧墙下部回风1.5～2.5，对侧墙下部回凤1.0～1.5 。

回风口风速（米／秒）：1、洁净室回风口不大于2；2、走廊内回风口不大于4