东莞无尘车间对尘埃粒子进行试验

空气中颗粒物污染是许多行业生产及加工工艺中主要的污染来源，准确评价东莞无尘车间空气净化已经成为许多行业生产以及产品检测的要求。好比在电子行业及芯片制造工业中，气体中微小颗粒物的沉积就会造成电气不良特性甚至更大的破坏。特别是近年来芯片线宽已经达到微米和亚微米级，这就对东莞无尘车间的空气净化提出了更高的要求。另外，在现代医学与药物及生物工程中，包括中国在内的世界各国制定实施的“药品生产质量管理规范GMP”中也着重对药品生产过程中空气中的颗粒物洁净度提出了要求。特别是随着《国家中长期科学和技术发展规划纲要》的贯彻执行，作为16个重大发展专项的核心电子器件、高端通用芯片、重大新药创制将会得到快速发展，这就使得颗粒计数测量和监测变得更加迫切。

　　据估计，中国现有的尘埃粒子计数器生产厂家有10余家东莞无尘车间，国内使用的台件数量应不少于3万台，这些厂家及用户具有很强烈的校准检测需求。要保证空气中尘埃颗粒测量的准确性，首先需要确保尘埃粒子计数器本身的准确和可溯源。中国计量院完成的这项研究，建立了标准粒子计数器校准装置，实现了对标准粒子计数器的粒子计数示值误差、粒径档设定相对误差、粒径测量分辨力校准项目的检定和校准，不确定度为6.0%(k=2)，优于国外相同计量校准装置的技术水平。同时，他们还建立了工作级粒子计数器校准装置，实现对工作级(实验室用、便携式)粒子计数器粒子计数示值误差的有效校准。

　　在研究中，我们通过采用国际先进的‘激光粒子计数器——凝结核粒子计数器——气溶胶静电计(或扫描电子显微镜)’逐级溯源法，使标准粒子计数器的粒子计数值溯源至国家电流标准和传统的显微计数法，保证了粒子计数的溯源性和准确性。